瀏覽次數:1591by:儒漢甡股
日本Engis目前提供超精密拋光設備技術以及優異磨料給日本各大廠商單晶碳化矽(SiC)基板，並且
產總研(註一)也已經採用日本Engis的設備。
雖然單晶碳化矽基板在研磨拋光製程上比藍寶石
基板相對困難，但是在高階藍光LED表現上卻是
比藍寶石基板更勝一籌。
目前在日本之單晶碳化矽基板量產大多是以2吋
為主，而4吋以及6吋之單晶碳化矽基板業已開發
完成並正在量產，現階段共有兩種的單晶碳化矽
基板。因為日本Engis擁有超精密拋光技術設備及
實績所以大多數廠商及政府研究機構是採用日本
Engis公司之拋光設備以及專業技術。
註一 : 日本獨立行政法人產業技術總合研究所
一般簡稱為產總研 (AIST)
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