瀏覽次數:1630by:儒漢甡股 本公司代理日本製造的離子源 ( Ion source ) 柵極組件,為三片一套的鉬電極板(Mo Grid), 依序分別為遮蔽電極、加速電極及減速電極, 並經過專業特殊之表面曲率成型加工及精密 鑽孔加工。 離子源之鉬電極板(Mo Grid)特別使用於高階 的光學鍍膜製程中,例如採用的離子輔助蒸 鍍 (Ion-beam Assisted Deposition ) 等相關離子 源設備。